除了空气折射率误差、干涉镜组的热漂移误差，被测对象的热膨胀误差也是环境误差的重要组成部分。以1m长铝合金工件为例，在温度产生1℃变化时其长度变化18.8-23.8μm，这对于精密测量来讲是难以接受的。因此，对于高精密度的工件，往往采用温度系数为10^-7～10^-8的殷钢或者微晶玻璃进行制作，同时提高测量环境的温度稳定性并对温度进行测量，并根据工件温度的测量值对位移测量值进行补偿，可以大大减小热膨胀引入的测量误差。采用温度测量和热线胀补偿后，残余的热线胀误差取决于热线胀系数与温度测量误差。