外差激光干涉仪的最大测量速度与双频激光的频差成正比，主要的双频激光的产生可分为腔内频差分裂技术和腔外频差生成技术两种。其中，腔内频差分裂技术根据激光工作原理，谐振腔输出的激光频率由纵模阶数、腔内介质折射率和腔长和激光在真空中传播的速度共同决定：

创造出特定的工作条件，使得同一激光管中始终出现两种激光，这两种激光各自具有不同的纵模阶数、折射率或谐振腔长，则该激光管可输出两种频率的激光。

双频激光腔内生成技术主要有塞曼光频分裂技术、双纵模输出技术、双折射光频分裂技术、偏振双反射膜光频分裂技术等，腔外生成技术包括声光调制双频激光生成技术等。考虑到双频激光正交偏振是激光外差干涉测量的前提条件，因此在双频激光生成时还要求其为正交线偏振光或可转换为正交线偏振光。