激光器输出光的具体频率取决于腔体谐振条件。激光器自由运转时，振动引起腔长的改变、机械结构的热膨胀、腔内介质和光学元件折射率的热变化、腔内气压变化引起折射率的变化等，都将造成频率的不稳定，使自由运转激光器将可在其全线宽范围内振荡，不能适应超精密激光干涉测量的应用要求，必须利用稳频方法提高频率稳定度。稳频方法可分为主动稳频方法和被动稳频方法。

被动稳频主要是采取一些措施降低外界扰动造成的影响。例如，将谐振腔做成一个刚性结构以降低机械振动的干扰；将谐振腔整体置于恒温壳体内，并用热胀系数小的石英玻璃激光管、殷钢谐振腔支架，以降低温度的影响；激光器选用精密稳流的放电电源，降低放电电流对输出光频的影响。

主动稳频是一个闭环调节过程，可阐述为：选取一个稳定的参考标准频率，当外界影响使激光频率偏离此特定的标准频率时，用误差信号（频率偏差值）或者其相关值，驱动相关执行机构自动调节腔长，以调整输出频率、减小频率偏差值。而主动稳频方法中，根据参考基准来源的不同，稳频参考基准可分为两类：—类是对应激光器中原子的跃迁中心频率的特征点，包括单模激光器的兰姆凹陷中心点、双纵模激光器的光功率平衡点及塞曼激光器频差曲线的峰（谷）值点等；另一类是激光器外界参考频率对应的特征点，如无源腔透过率曲线的峰值点、外界气体腔的线性吸收峰或饱和吸收峰及其超精细结构等。