在微电子、光电子器件生产过程中，超净高纯电子特气从芯片生长到最后器件的封装，被称为半导体材料的“粮食”和“源”。超净高纯电子特气成本占IC材料总成本的5%～6%，决定了半导体器件性能的好坏。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的净化愈加关键和重要。超净高纯电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等。