利用X射线荧光具有不同能量的特点,不使用分光晶体,而是利用具有一定能量分辨率的半导体探测器探测样品所发出的各种能量特征X射线。探测器输出信号幅度与接收到的X射线强度成正比。利用能谱仪分析探测器输出信号的特征能量及其强度,对样品进行定性和定量分析的方法。
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