平面度计量基准由相移式激光等厚干涉仪和基准平面平晶系列组成。中国平面度计量基准建立于1986年，有主基准和副基准各一套，分别保存于中国计量科学研究院和中国测试技术研究院，通过定期的计量比对保持主基准和副基准之间的量值一致。

平面平晶的平面度测量方法有比较测量法和绝对测量法。比较测量包括相移式干涉测量法、平面等厚干涉测量法和平面等倾干涉测量法等三种方法；绝对测量法为多面互检法。

平面度计量基准采用绝对测量法，利用相移式激光等厚干涉仪，采用两个基准平面平晶和被测平晶进行多面互检，测量一等平晶或更高精度平面镜的平面度。

相移式激光等厚干涉仪基于Fizeau式相移干涉仪的原理，如图所示。稳频He-Ne激光经准直物镜成为平行光，入射至标准参考平板时，部分光束由标准参考平面反射回到干涉仪内部，形成参考平面波面；另一部分光束透射过标准参考平板至待测平面，反射回到干涉仪内部，形成待测波面。由于参考波面与待测波面存在光程差，因此在干涉仪内部的CCD图像传感器上可接收到干涉条纹。通过精确控制由压电陶瓷组成的移相器，推动标准平板平移，在多个不同位置记录干涉图像，利用相移算法解算出待测表面的面形。

相移式激光等厚干涉仪原理图

计量标准器具利用从计量基准器具获得量值的平晶与被测平面比较，通过比较测量法测量一等以下平面平晶的平面度。

平面度计量基准利用多面互检技术实现参考平面误差的分离，实现平面度的绝对测量，Φ150毫米范围的测量不确定度可达6纳米（k=2）。

平面度计量基准