表面形貌标准器是二维标准器，是几何量实物标准器的一种。可以用于校准或测试轮廓扫描测量仪。

表面形貌标准器一般为条状，在一个侧边上加工多个不同形状的几何要素，通常是垂直于侧面的圆柱和平面。其中心平面与这些几何要素相交形成的曲线，包含具有特征参数的表面轮廓，复现的参数包括台阶高度、曲率半径、沟槽边缘角度等轮廓形状。

最简单的表面形貌标准器如剃须刀片、标准圆球、平晶、量块等。锋利的剃须刀片构成一个几乎零厚度的线，可以检验对扫描测尖半径修正的效果。标准圆球提供了高精度的圆弧形状和半径的参考值。通过测量标准球得到的圆弧参数（半径、形状误差）可以反映仪器的综合精度。借助平晶、量块与正弦规结合，可以检测仪器运动噪声、双轴的垂直度等。

如图所示为表面形貌标准器的一种设计，包括了多个几何要素，组合成包括凹、凸圆弧的半径（R₁,R₃），直边夹角（β₂,β₄），突起高度和沟槽深度（Z₁,Z₆），圆心和定点等特征点间的距离（X₂,X₆,X₈,X_8-1）等参数。

表面轮廓标准器