互扩散指多元系统中不同物质通过扩散相互渗透的过程。多元系统中可由达肯方程建立起互扩散系数与各组分的分扩散系数之间的关系。

两种扩散速率不同的金属在相互扩散过程中，会在扩散速率较高的金属内形成空位缺陷并逐渐团聚形成空洞，这种现象称为柯肯达尔效应。柯肯达尔效应来源于冶金学，现已被应用到中空纳米金属材料的制备中。柯肯达尔效应的负面影响也应引起注意，如在集成电路中，需将金丝与铝焊接以提供电路的外部引线。在电路工作时，铝和金原子穿过界面相互扩散，由于扩散速率不同产生空位缺陷而聚集形成空洞，最终可能导致金-铝接头失效。