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. 理学 . 化学 . 物理化学 . 纳米物理化学 . 软刻蚀技术软刻蚀技术
/soft lithography/
最后更新 2023-05-20
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使用弹性印章来进行图形的复制与转移,或采用印章当作掩模批量制备图案化结构的技术。
- 英文名称
- soft lithography
- 所属学科
- 化学