按激光颜色可分红光半导体激光材料、蓝绿光半导体激光材料。可见光半导体激光材料的禁带宽度比红外半导体激光材料的宽。波长愈短,禁带愈宽。
可见光半导体激光材料
激光波长在0.3~0.7微米的半导体激光材料。
- 英文名称
- visible semiconductor laser materials
- 所属学科
- 材料科学与工程
已用于制备0.6~0.7微米波段激光器的材料全部是Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体,故其晶体结构、能带结构一致,禁带宽度、晶格常数、折射率与组分和温度关系遵循相同规律。当使用Ga1-xAlxAs/GaAs时,其激活层含有很高的铝组分,氧化造成优质异质结生长困难,并引起器件快速退化,故其实际应用较少。实用化的红光半导体材料是InGaAlP/GaAs。其禁带宽度、晶格常数间的关系如图所示。两个二元化合物的连线形成三元合金晶体,实线代表直接跃迁型半导体,虚线代表间接跃迁型半导体。由图可得到与GaAs衬底晶格匹配条件和激射波长。波长最短可至0.58微米。用此材料制备红光激光二极管时,必须对材料的结构参数和性能进行优化组合,以达到设计要求。InGaAlP/GaAs异质结、量子阱材料的生长最成功的方法是采用金属有机化合物气相外延。
要获得蓝绿光波段的激射,激光材料的禁带宽度要大于2.5电子伏。属于这个范围的半导体激光材料大多是由Ⅱ族元素和Ⅵ族元素组成的二元化合物或三元、四元化合物固溶体,如硒化锌(ZnSe)、硫化锌(ZnS)、镉锌硒(CdZnSe)、锌硫硒(ZnSSe)、锌镁硫硒(ZnMgSSe)等。它们类同的晶体结构、晶格常数与GaAs接近,可实现异质材料生长,能带结构也属于直接跃迁型。但这些材料生长时掺杂比较困难,这是制备注入式激光器的主要障碍。因此多数蓝绿光激光器不采用电泵浦,而是用光泵浦或电子束泵浦方式。
除上述材料外,还有少数Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体成为潜在的蓝绿光半导体激光材料。例如氮化镓(GaN)、镓铝氮(GaAlN)和氮化铝(AlN),其发射波长为0.37微米,光泵的激光阈值约为110千瓦/厘米2。蓝绿光半导体激光薄膜采用分子束外延(MBE)和金属有机化合物气相外延(MOVPE)生长量子阱或超晶格结构,以进一步提高材料的性能,使做出的器件达到实用的要求。