红外波长范围广阔,相应半导体激光材料种类很多。用于波长大于2微米的红外半导体激光材料,通常按性质分为两类,一类是锑化镓(GaSb)基和砷化铟(InAs)基Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体,其覆盖波段为2~4微米。另一类是Ⅳ-Ⅵ族铅盐半导体,覆盖波段为3~30微米。
红外半导体激光材料
激光波长大于0.85微米的半导体激光材料。
- 英文名称
- infrared semiconductor laser materials
- 所属学科
- 材料科学与工程
制造用于红外光纤通信,红外传感、激光雷达及分子光谱学等方面的中红外半导体激光器。Ga1-xInxAsySb1-y四元合金系统,当y/x约0.9时,这种化合物可同GaSb晶格匹配。从原理上说,x=0~1时,波长λ0可在1.7~4.3微米范围变化。但是,工艺上实现覆盖这一波段范围比较困难。例如采用液相外延(LPE)法生长材料,由于中心区(x=0.18~0.84)存在混合隙,目前最长波长做到2.39。由于液相外延是一种热力学平衡过程,在这一组分范围内,液相和固相间存在大的分凝,衬底相对熔体处在不稳定状态,因此不能获得稳定的固相。红外光纤最低损耗波长为2.55微米,获得这一波段激光器所需的材料组分为x约0.27,正好在混合隙内。因而需采用分子束外延(MBE)和金属有机化合物气相外延(MOVPE)生长方法制备。Ga1-xInxAsySb1-y为有源区激光材料,其限制层材料选择Ga1-xAlxAsySb1-y,通过选择合适的组分,使其禁带宽度比GaInAsSb宽,而折射率比其低。因此在GaSb衬底上可生长出GaAlAsSb/GaInAsSb/GaAlAsSb/GaSb双异质结构。
2~4微米波段另一种可供选择的激光材料是生长在InAs衬底上的InAs1-x-yPxSby异质结材料。但利用这种材料制成的激光器热特性较差,难以实现室温工作,使用很少。此外还有锑化铟(InSb)、铟镓砷(InGaAs)等材料,虽已作出激光器,但由于器件性能不好,也很少使用。
带宽温度系数非常大,特别适合制造半导体可调谐激光器。这类激光器已广泛用于大气污染监测、高分辨率激光光谱学等方面。铅盐晶体属于立方岩盐结构,由二元硒化铅(PbSe)、硫化铅(PbS)、碲化铅(PbTe)、硫化锗(GeS)、碲化锗(GeTe)、硒化锡(SnSe)、碲化锡(SnTe)及三元、四元合金组成铅盐晶体系列。常用激光材料有Pb1-xCdxS(2.5~4微米),PbS1-xSex(4~8微米),Pb1-xSnxSe和Pb1-xSnx(8~30微米)。此外,还有Pb1-xGexS,Pb1-xGexTe,PbTe1-xSex等。为了提高激光器的工作性能,又发展出一些四元铅盐及掺稀土材料和异质结材料。如常用在2~5微米中红外波段Pb1-xCdxS1-ySey,Pb1-xMnxS1-ySey,Pb1-xYbxSnyTe1-yPb1-xEuxSeyTe1-y,以及Pb1-xSnxTe/PbTe1-ySey,SbS1-xSex/PbS,Pb1-xSnxSe/Pb1-x-yEuySnxSe等异质结材料。
铅盐晶体是一种缺陷半导体,其载流子浓度及导电类型由化学计量偏差控制。制作激光器用的材料,载流子浓度一般控制在1018/厘米3左右。对高于1019/厘米3的材料,通常采用长时间退火方法来降低。并且此法也可改变材料的导电型号。
铅盐晶体的生长,最早采用布里奇曼法(Bridgman)和丘克拉斯基法(Czochraski)方法,但这些方法获得的单晶其位错密度很高,不适合制作激光器。所以又发展一种HUVG(Horizontal Unseeded Vapor Growth)方法。这种方法生长的单晶呈块状,自由分布在生长管内,位错密度可低到102/厘米2,且有天然的(100)生长晶面,特别适用于制作激光器。对于双异质结材料,可采用热壁外延(HWE)、LPE、MBE及真空蒸发生长、组分内扩散方法(CID)。