将废物堆放掩埋的做法在人类历史上由来已久，但在城市规划基础上进行有计划的填埋是从1904年美国伊利诺伊州的香槟市建成第一个城市垃圾填埋场开始的。早期的填埋确实能解决一部分害虫滋生、臭气等问题，但也发现垃圾填埋存在渗滤液污染土壤和地下水、产生沼气引发火灾和爆炸危险等隐患。尽管如此，美国直到20世纪70年代纽约州因1943～1953年期间不合理填埋危险废物引发拉芙运河（Love canal）事件后，才开始认真考虑抛弃和改进传统填埋方式。

1976年美国修订并颁布《资源保护和回收法》，禁止传统的填埋方法。此后发展出了适应生活垃圾的“卫生填埋”和适应工业危险废物的“安全填埋”。这两类技术均强化了填埋场底部的防渗设计，设置了对地下水的监控系统，“卫生填埋”中还设计了专门的气体收集和无害化处理装置。

中国从20世纪80年代起开始跟踪和引进符合国际标准的卫生填埋技术。深圳下坪固体废弃物填埋场是中国第一个按国际先进标准进行设计建造的现代化卫生填埋场，1997年10月正式投入运营，验证了适合中国国情的卫生填埋处理成套技术，积累了相关的运行管理经验，为卫生填埋技术在中国的推广发挥了示范作用。此后，卫生填埋技术广泛在中国各大城市应用，代替以往大量采用并具有较大环境风险的简易填埋法。

西安市白鹿原江村沟垃圾填埋场