根据所用基体材料的不同，分为硅微惯性传感器和石英谐振类惯性传感器。硅微惯性传感器包括硅微机械陀螺仪、硅微机械加速度计及其组成的硅微型惯测组合。石英谐振类传感器包括石英谐振式加速度计和石英谐振式陀螺仪。

微机械惯性传感器不仅可用于军事和航空领域，还可用于一些对成本要求很敏感的领域。这些领域大多数都对传感器有低成本、能被安装在小的空间内、能靠电池供电工作的要求。微机械惯性传感器能轻易满足这些要求，而且相对于传统的惯性传感器，由于采用硅微工艺，其可靠性和环境适应性获得了极大的提高，能承受大的冲击和振动，适用于较恶劣的环境，应用前景非常广阔。