1989年采用微电子机械系统技术的第一个微机械陀螺仪问世，漂移率达。微机械陀螺仪基于科里奥利振动原理，其基本工作原理是其振动部件受到驱动力作用而产生谐振，当与谐振方向垂直的方向有角速率输入时，振动结构将会因科里奥利效应产生一个垂直于谐振和输入角速率方向的另一个振动模态，该模态的振动幅度由科里奥利力的大小决定。

式中科里奥利力的大小正比于输入角速率，通过检测科里奥利力的大小，得到输入角速率。为振动部件的质量,为振动部件的速度。

已进入实用的微机械陀螺仪主要存在以下3种不同的结构：框架式角振动陀螺仪、音叉式梳状谐振陀螺仪和振动轮式硅微陀螺仪，这几种结构的陀螺精度已达到的量级。

微机械陀螺仪的精度可分为：速率级，零漂为；战术级，零漂为；惯性级，零漂。21世纪初，国内外微机械陀螺仪的主要指标只能达到战术级精度，尚不能满足惯性级导航的需求。