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薄膜混合集成电路

/thin film hybrid integrated circuit/
最后更新 2023-08-01
浏览 113
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在同一个基片上用蒸发、溅射、电镀等薄膜工艺制成无源网路,并组装上分立的微型元件、器件,外加封装而成的混合集成电路。所装的分立微型元件、器件,可以是微型元件、半导体芯片或单片集成电路。

英文名称
thin film hybrid integrated circuit
所属学科
电子科学与技术

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