经静电加速器加速的电子，聚集后去轰击靶，产生高能X射线，用于高能X射线探伤检测设备的X射线源。静电加速器主要由静电起电机、离子源、加速系统和束流后传输系统等组成。工作原理如图所示。

静电加速器原理示意图 

按照加速粒子的不同分为正离子静电加速器（简称质子静电加速器）和电子静电加速器两类。

静电加速器是通过用机械传送的方式把电荷不断地输送到一个固定的电极上，使电压随电荷的积累而不断升高得到高电压。在高电压电极与地之间放置一个绝缘材料做成的真空管，使带电粒子从真空管（加速管）中通过而获得较高的能量。   

机械传送电荷的方式：①用绝缘传输带传送电荷到高压电极。基于这种方式的叫范德格拉夫（Van de Graaff）静电加速器。②通过旋转的绝缘圆筒传送电荷到高压电极，基于这种方式的叫弗立西（Felici）静电加速器。

用得较多的是范德格拉夫静电加速器，可分为单级和多级范德格拉夫静电加速器（又称为串列静电加速器）。前者只利用高电压对带电粒子加速一次，后者是利用同一高电压，使带电粒子加速两次以上。