纳米薄膜具有纳米结构的特殊性质，含有纳米颗粒与原子团簇的基质薄膜以及纳米尺寸厚度的薄膜。颗粒大小和厚度对纳米薄膜的性质尤为重要。纳米薄膜是一类具有广泛应用前景的新材料，通过纳米粒子的复合制得的复合薄膜在光、电、磁等方面都有良好的性能。

纳米薄膜的电学特性不仅与纳米薄膜的厚度有关，也与纳米薄膜中的颗粒尺寸有关。通过对颗粒尺寸和薄膜厚度的调控，使纳米薄膜得到不同的电学性能。纳米薄膜的磁学特性很大程度上是因为磁性膜的厚度减小到纳米尺度时，出现了薄膜法向上的垂直磁各向异性，能够垂直磁化。同时，当磁性材料在纳米膜中以纳米微粒形式分散存在时，磁性能也会发生变化。纳米薄膜的光学性能分为吸收光谱的移动与宽化和光学非线性。由于量子尺寸效应以及界面效应，当膜厚度减小时，大多数纳米薄膜能隙将有所增大，出现吸收光谱的蓝移与宽化现象，也正是纳米薄膜的量子尺寸效应和量子限域引起了光学非线性。

纳米薄膜的制备方法主要有真空溅射法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法、电化学沉积法。

在真空环境中，溅射相应的靶材料表面，使被轰击出的粒子在基片上沉积制得纳米薄膜的方法。典型的方法有：①离子束溅射沉积法。通过使用不同的溅射仪达到不同的制备效果。离子束溅射沉积法制备纳米薄膜是在多功能离子束辅助沉积装置上完成的。②磁控溅射沉积法。在磁控溅射仪上，通过基片架转动的速率，控制多层膜的调制波长。具有镀膜速率易控制、稳定性好、溅射材料不受限制等优点。

利用气态物质在固体表面上的化学反应，生成固态沉积物得到纳米薄膜的方法。化学气相沉积法是常规薄膜制备的方法，通过薄膜后处理，控制非晶薄膜的晶化过程，可获得纳米结构的薄膜材料，被广泛地应用于纳米微粒薄膜材料的制备。

首先用化学试剂制备所需的均匀稳定水溶液，然后将溶胶滴到清洁的基体上，再将溶胶表面的陈化膜转移到基体上，再将薄膜干燥，制得所需的纳米薄膜。根据制备要求的不同，配置溶胶的不同，即可制得满足要求的薄膜。这种方法工艺设备简单、用料省、成本较低，且可以有效地控制薄膜的成分及结构。

利用电化学反应原理，把不同的薄膜材料电镀在不同的基底上，从而得到纳米薄膜。关键在于制备过程中晶体成核与生长的控制。利用电化学沉积方法制备的纳米材料在抗腐蚀、抗磨损、磁性、催化、磁记录等方面均具有良好的应用前景。