物理气相沉积是在真空条件下，利用蒸发或溅射，将材料源（固体或液体）转化为原子、分子或部分电离成离子的气相，再使这些携带能量的蒸发粒子沉积到基体表面，以形成晶体、薄膜。
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一种晶体、薄膜的生长方法。
物理气相沉积是在真空条件下，利用蒸发或溅射，将材料源（固体或液体）转化为原子、分子或部分电离成离子的气相，再使这些携带能量的蒸发粒子沉积到基体表面，以形成晶体、薄膜。
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