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. 理学 . 物理学 . 凝聚态物理学 . 晶体学 . 晶体生长 . 晶体生长技术化学气相沉积法
/chemical vapor deposition/
最后更新 2023-06-30
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一种常见的制备单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料的气相生长方法。
- 英文名称
- chemical vapor deposition
- 所属学科
- 物理学
京公网安备 11010202008139号
