阵列电离室具有稳定、可靠、寿命长等优点，适合在环境苛刻的场所使用。辐射成像阵列电离室可以是一体式的（图1），也可以是模块式的（图2），布置需要各单元以辐射源为中心呈向心扇形排列。每个电离室单元均由一个收集极及相应的高压极构成，其输出信号反映了该单元对应角度入射射线经过客体衰减后的辐射强度。采集各单元的输出信号，就可以得到射线穿过客体后的在客体断层平面内的一维空间分布。

图1 一体式扇形阵列电离室示意图

图2 模块式阵列电离室示意图

阵列电离室可用于数字辐射成像测量，辐射成像装置大体上分为两类：一类是采用平移扫描方式获取客体的辐射投影图像的数字辐射照相（digital radiography，DR）系统，另一类是采用旋转扫描方式获取客体多个方向的投影图像，再利用图像重建技术得到客体断层图像的CT（computerized tomography）装置。阵列电离室也可用于工业控制无损检测多点信号测量，如钢板断面板形轮廓测量。