见单晶片吸除技术。
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. 工学 . 材料科学与工程 . 电子信息材料 . 半导体材料 . [半导体材料制备] . 半导体晶片加工 . 半导体单晶片吸除技术内吸除
/internal gettering/
最后更新 2022-01-20
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由硅体内氧沉淀及其诱生缺陷产生的吸除作用。
- 英文名称
- internal gettering
- 所属学科
- 材料科学与工程