与伺服阀、伺服控制器、传感器等配套使用,具备很高的精度和动态特性,既可以作为单一作动器应用,也可以配置到标准试验机或复杂的多轴多通道试验设备上,广泛应用于材料、零件、结构件及整机结构的试验系统中。
一般的伺服作动器都采用传统密封的形式,使用O型圈、导向带、希尔封、斯特封等实现密封与导向,结构简单、加工难度低,成本较低,但会存在较大的摩擦力,使用寿命短,频响低。先进的伺服作动器采用了静压支撑形式,不使用密封圈,轴颈内衬使用特殊材料涂覆,并配有静压轴承油泵持续保持活塞杆和缸壁间的液态油润滑,实现活塞杆与缸体的密封与导向,使活塞杆在静压轴承油膜中做无摩擦力的线性往复运动,灵敏度高,寿命长,频响高,最高可达1000赫兹,但相应的加工难度及成本也会较高。
根据运动形式的不同,分为直线作动器和摆动作动器。工作原理:利用位置传感器(位移/角度传感器)或者载荷传感器(负荷/扭矩传感器)反馈的信号与控制信号比对后发送至伺服阀,通过伺服阀控制液压油流动的方向与速度,从而实现直线作动器直线的位移与力的输出或者摆动作动器角度与扭矩的输出。