红外石英玻璃（应用光谱波段范围200～3500纳米）以高纯度硅烷或者高纯度有机硅为原料，采用化学气相沉积法合成疏松高纯度二氧化硅微粉，然后采用专门脱水工艺，脱出二氧化硅微粒中的水分和羟基，再熔制成石英玻璃。由于原料中不含有氢氧根，可以消除氢氧根的红外吸收，具有优良的光谱特性，而且合成原料纯度高（金属杂质在ppb级），因此既透过红外光线，又透过紫外光线。

红外石英玻璃具有耐高温、耐腐蚀，热膨胀系数和介电常数小，化学稳定性、电绝缘性和透光性能好等优点，是一种非常优良的光学材料。广泛应用于尖端红外光学系统，如近红外强激光聚焦镜（近红外激光武器），紫外、可见、近红外扫描窗口（导弹窗口），集成电路光刻机等，以及半导体、光通信、电光源、强激光系统中需在恶劣条件下工作或要求高稳定性的学光学仪器中。