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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80436,"Name":"电子科学与技术"},{"ID":80653,"Name":"纳米电子学"},{"ID":80664,"Name":"等离子体纳米电子学"},{"ID":80668,"Name":"等离子体光刻"}]
等离子体光刻
/plasmonic lithography/
最后更新 2023-08-30
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利用金和银等贵金属所激发的表面等离子体共振效应，突破传统光刻分辨力衍射极限的新型光刻技术。
- 英文名称
- plasmonic lithography
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
