微等离子体具有高气压稳定性、非热平衡、电子能量非麦克斯韦化、高电子密度、高激发效率等优点。微等离子体产生的方法包括电晕放电、空心阴极放电、毛细管放电等。由于介质阻挡放电等离子体放电呈现细丝状，也被认为是一种微间隙的放电方式。玻意耳首先发现空气微放电击穿电压不符合帕邢定律，当（是气体的压力，是电极的距离）值较小时，击穿电压会偏离原来的帕邢曲线，修正的帕邢曲线如图所示。微放电中的微观过程被认为是电子碰撞电离、二次电子发射与场致电离的共同作用。

修正后的帕邢曲线

微等离子体研究主要集中在微尺度下的击穿机理、微等离子体源的研制以及微等离子体在电晕离子风、纳米材料制备、表面处理、特征光谱、预电离（辅助）源、生物医学等方面。