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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80436,"Name":"电子科学与技术"},{"ID":99037,"Name":"集成电路"},{"ID":99050,"Name":"集成电路工艺"},{"ID":99057,"Name":"光刻技术"}]
. 工学 . 电子科学与技术 . 集成电路 . 集成电路工艺 . 光刻技术定向自组装光刻技术
/directed self-assembly lithography technology; DSA/
最后更新 2023-08-19
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集成电路制造中，运用材料内部的自然机制来产生有序结构进而强化光刻的技术。
- 英文名称
- directed self-assembly lithography technology; DSA
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
