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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80436,"Name":"电子科学与技术"},{"ID":99037,"Name":"集成电路"},{"ID":99050,"Name":"集成电路工艺"},{"ID":99057,"Name":"光刻技术"}]
. 工学 . 电子科学与技术 . 集成电路 . 集成电路工艺 . 光刻技术极紫外光刻技术
/extreme ultraviolet lithography technology/
最后更新 2024-12-14
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集成电路制造中，以波长为13.5纳米的极紫外光作为曝光光源的光刻技术。
- 英文名称
- extreme ultraviolet lithography technology
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
