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浸入式光刻技术

/immersion lithography technology/
最后更新 2023-08-31
浏览 189
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集成电路制造中,利用光通过液体介质后光源波长缩短来提高分辨力的光刻技术。一般指ArF(193纳米)浸入式光刻技术。

英文名称
immersion lithography technology
所属学科
电子科学与技术

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