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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80436,"Name":"电子科学与技术"},{"ID":99037,"Name":"集成电路"},{"ID":99050,"Name":"集成电路工艺"},{"ID":99052,"Name":"硅热氧化工艺"}]
. 工学 . 电子科学与技术 . 集成电路 . 集成电路工艺 . 硅热氧化工艺局部氧化
/local oxidation/
最后更新 2022-01-20
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在半导体硅片上的选定区域中形成低于衬底表面的二氧化硅，以实现器件隔离的集成电路制造工艺技术。
- 英文名称
- local oxidation
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
