变质流体的成分以水和二氧化碳为主，含有少量金属离子和卤族元素，是前进变质过程脱挥发分的结果。在高温变质条件下二氧化碳占主体，如下地壳环境中的麻粒岩。在俯冲带深部，当温度、压力越过第二临界点时，进入超临界状态的流体称为超临界流体。变质流体存在于矿物晶格和粒间溶液中，其本身作为溶剂促进元素和组分的活化、离解和迁移，进而推动变质矿物成核并提高变质反应速率。如果流体参与变质反应进程，则流体分压的变化可以影响变质反应平衡。