早期的阻抗/材料测试要求的频段范围较低，实现起来相对简单。随着技术逐渐发展成熟，应用已相当广泛。随着测试频段的不断提高，不论是电子线路的网络特性，或是电子元件/材料的阻抗特性已不能用集总参数的理想元件参数来表达，当测试激励信号波长接近或远小于待测件的尺寸时，元器件/材料的高频分布参数已不可忽略，必须用分布参数概念来进行分析。

阻抗的测量方法很多，有零示法、电压-电流法（V-I法）、谐振法、反射法等。在低频范围内，通常采用零示法、电压-电流法。在高频情况下，由于电路特性的描述已由元件的集总参数（电阻、电容、电感）向分布参数过渡，通常采用谐振法和反射法。

电压-电流法是在待测件两端施加一恒定的正弦激励信号，通过测量待测件上的电压和电流，便可获得待测件的阻抗特性，如图所示。

电压-电流法示意图

在低频时，一般仅关心待测件的电阻特性，那么只需要测得待测件上电压、电流峰值即可。但仅适合待测件为纯电阻特性，或是器件的复阻抗特性表现不明显的情况。当待测件的阻抗特性包含电容或电感特性，即不再是纯电阻，而是一复阻抗（）时，V-I法实现阻抗测量，不但要知道待测件上电压、电流的峰值，还要精确测量、之间的相差。对于高频甚至微波情况下，精确测量信号的相位比较困难。因此，对于高频、微波阻抗测量，采用V-I法完成阻抗测试有一定难度，一般采用谐振法或反射法。

阻抗分析仪系统组成一般包括阻抗分析仪主机、测试夹具以及校准件。测量参数包括阻抗、导纳、串联电阻、并联电阻、电容、电导、电纳、电感、品质因数、耗散因子、反射系数等，虽然名称与用途不同，但之间通过数学公式可以转换。