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鳍式场效应晶体管

/fin field effect transistor; FinFET/
条目作者许晓燕

许晓燕

最后更新 2022-12-23
浏览 149
最后更新 2022-12-23
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一种新型三维立体结构的互补金属氧化物半导体(complementary metal oxide semiconductor; CMOS)晶体管。

英文名称
fin field effect transistor; FinFET
所属学科
电子科学与技术

由美国加利福尼亚大学伯克利分校的胡正明教授小组于20世纪90年代末提出。鳍式场效应晶体管的器件结构如图所示。栅电极将鳍型半导体结构从3个不同方向包裹起来,使得电荷受到更多的栅电极控制,极大地减少了源漏之间的泄漏成分,提升了有效的电流密度。相比传统的平面器件,鳍式场效应晶体管(FinFET)在相同功耗条件下可以获得50%的性能提升。2011年,FinFET器件由美国英特尔(Intel)公司实现产业化,在顶级计算机、服务器和手机中得到应用。

鳍式场效应晶体管的器件结构示意图鳍式场效应晶体管的器件结构示意图

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