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. 工学 . 电子科学与技术 . 红外电子学 . 【红外探测器】 . 【红外探测器工艺】化学气相沉积工艺
/chemical vapor deposition technology/
最后更新 2023-08-19
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反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，形成薄膜或涂层的工艺技术。
- 英文名称
- chemical vapor deposition technology
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
