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[{"ID":42423,"Name":"工学"},{"ID":80436,"Name":"电子科学与技术"},{"ID":80576,"Name":"传统半导体器件"},{"ID":80591,"Name":"【半导体工艺技术】"},{"ID":80595,"Name":"溅射工艺"}]
共溅射
/co-sputtering/
最后更新 2023-03-17
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用两个或两个以上的溅射靶材同时溅射的技术。是一种制备合金化合物的有效方法。
- 英文名称
- co-sputtering
- 所属学科
- 电子科学与技术
京公网安备 11010202008139号
