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微机械惯性传感器/ micro-electromechanical system inertial sensor /micro-electromechanical system inertial sensor
〔惯性仪表〕
集微型精密机械、微电子学、半导体集成电路工艺等技术于一身的惯性器件。又称微机电惯性仪表。
超流体陀螺仪/ superfluid gyroscope /superfluid gyroscope
陀螺仪
基于超流体的物理原理，使用敏感载体测量相对惯性空间角运动的传感器。
原子陀螺仪/ atomic gyroscope /atomic gyroscope
陀螺仪
利用原子光谱感受外部转动的高性能传感器。又称核陀螺仪。
光纤陀螺仪/ fiber-optic gyroscope /fiber-optic gyroscope
陀螺仪
应用激光及光导纤维技术测量物体相对于惯性空间的角速度或转动角度的无自转质量的光学陀螺仪。
挠性陀螺仪/ flexbility gyroscope /flexbility gyroscope
陀螺仪
由挠性接头对高速旋转的转子构成万向接头式支撑的陀螺仪。
静电陀螺仪/ electrostatic gyroscope /electrostatic gyroscope
陀螺仪
一种二自由度框架式陀螺仪，经过研究改为球形转子自由陀螺仪。它对转子是不施矩的，除了漂移外,转子主轴和壳体对应的轴将在惯性空间保持相同的姿态。
液浮陀螺仪/ liquid floated gyroscope /liquid floated gyroscope
陀螺仪
将框架组件用高密度液体悬浮，利用阿基米德原理使浮液浮力完全克服重力，实现中性悬浮使其支承轴承卸载的陀螺仪。
微机械陀螺仪/ micromechanical gyroscope /micromechanical gyroscope
陀螺仪
采用半导体生产中成熟的沉积、蚀刻和掺杂等工艺，将机械装置和电子线路集成在微小的硅芯片上完成，最终形成一种集成电路芯片大小的微型陀螺仪。是陀螺仪技术与微电子机械系统(MEMS)技术结合产生的新一代惯性器件。又称MEMS陀螺仪、硅微陀螺仪。
激光陀螺仪/ laser gyroscope /laser gyroscope
陀螺仪
应用激光技术而做成的测量转动角速度的一种惯性器件。
光纤加速度计/ fiber optic accelerometer /fiber optic accelerometer
加速度计
一种采用光纤感应元件制成的用来测量沿其输入轴作用的常值和低频加速度的惯性器件。其输出值为比力，与载体的运动加速度成比例关系。