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光电子器件制备技术/ fabrication technology of optoelectronic device // fabrication technology of optoelectronic device /

光电子器件在研发或者生产过程中，完成器件结构设计后具体的制造工艺技术。

等效相移技术/ equivalent phase shift technology /equivalent phase shift technology
光电子器件制备技术
将光栅周期和取样周期组合起来，通过微米级甚至亚毫米级的取样周期的改变来等效实现光栅相移改变的技术。
纳米压印技术/ nanolithography /nanolithography
光电子器件制备技术
通过机械压力和温度的控制将纳米压印母版上已做好的图形转移到纳米压印胶上的纳米图形制造技术。其极限分辨率只受母版分辨率的影响而不受光学衍射极限的限制。

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