等离子体光刻/ plasmonic lithography // plasmonic lithography /
利用金和银等贵金属所激发的表面等离子体共振效应，突破传统光刻分辨力衍射极限的新型光刻技术。
局域表面等离子体光刻/ localized surface plasmonic lithography /localized surface plasmonic lithography
等离子体光刻利用局域表面等离子体谐振的光场局域和增强效应，实现超分辨纳米图形制备的等离子体光刻技术。相移掩模等离子体成像光刻/ phase shift mask plasmonic imaging lithography /phase shift mask plasmonic imaging lithography
等离子体成像光刻利用相移掩模技术，提高等离子体成像光刻分辨力的等离子体成像光刻技术。
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