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刻蚀工艺
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etching process
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etching process
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用化学的、物理的或化学和物理结合的方法，有选择地把没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分除去，从而在下层材料上实现图形转移的工艺。
离子束刻蚀
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ion beam etching
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ion beam etching
刻蚀工艺
定向高能离子撞击固体靶时，入射离子所携能量转移到固体表面原子上，如果固体表面原子间结合能低于入射离子能量，这些原子就会被移开或从表面上被除掉的技术。又称离子铣。
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