分支
传统半导体器件
微电子机械系统光传感器/ micro-electromechanical system optical sensor // micro-electromechanical system optical sensor /
基于微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS），利用光学方法将被测量转换成光学量或电学量传输出去的传感器。
微电子机械系统光衰减器/ micro-electromechanical system optical attenuator /micro-electromechanical system optical attenuator
微电子机械系统光传感器将光信号功率进行衰减的器件。微电子机械系统光滤波器/ micro-electromechanical system optical filter /micro-electromechanical system optical filter
微电子机械系统光传感器采用微机械结构和微纳制备工艺实现的用来进行光波长选择的器件。又称微电子机械系统滤镜。微电子机械系统光开关/ micro-electromechanical system optical switch /micro-electromechanical system optical switch
微电子机械系统光传感器利用微执行器可动微镜阵列，通过控制微镜运动实现光信号导通与断开功能的器件。微电子机械系统光调制器/ micro-electromechanical system light modulator /micro-electromechanical system light modulator
微电子机械系统光传感器基于微电子机械系统（micro-electromechanical system; MEMS），使光波的某一参量随调制信号变化，从而将信息载在光波上的器件。
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