分支
半导体照明技术
硅衬底/ silicon substrate // silicon substrate /
在半导体照明领域，采用硅作为生长氮化物发光材料的基底层。
Si(100)图形衬底/ Si(100) patterned substrate /Si(100) patterned substrate
硅衬底Si(100)平面单晶衬底经图形化及湿法腐蚀之后形成的部分Si(111)面裸露的非平面衬底。
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