分支
半导体照明衬底/ substrate for semiconductor lighting // substrate for semiconductor lighting /
在半导体照明领域使用的衬底材料。
Si(100)图形衬底/ Si(100) patterned substrate /Si(100) patterned substrate
硅衬底Si(100)平面单晶衬底经图形化及湿法腐蚀之后形成的部分Si(111)面裸露的非平面衬底。