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半导体照明装备/ semiconductor lighting equipment // semiconductor lighting equipment /

用来实现半导体照明产业化应用的相关装备。

铟锡氧化物沉积设备/ indium tin oxide deposition equipment /indium tin oxide deposition equipment
半导体照明装备
通过蒸发或者溅射的方式，制备铟锡氧化物透明导电薄膜的设备。又称ITO沉积设备。
激光剥离设备/ laser lift-off equipment /laser lift-off equipment
半导体照明装备
采用激光光束将结合到一起的材料分开的设备。又称LLO设备。
分选机/ sorting machine /sorting machine
半导体照明装备
根据预先定义的芯片性能来进行芯片分档分类的设备。
点测机/ probing machine /probing machine
半导体照明装备
为了适应大工业生产设计制造的半导体芯片检测设备。
氢化物气相外延设备/ hydride vapor phase epitaxy equipment /hydride vapor phase epitaxy equipment
半导体照明装备
在外延生长所需的化学组分中，至少采用一种氢化物的气相外延设备。
金属有机物气相外延设备/ metal-organic vapor-phase epitaxy equipment /metal-organic vapor-phase epitaxy equipment
半导体照明装备
采用金属有机化合物和气态元素进行化学反应，生长薄膜材料的制造设备。