微机电系统分层级设计/ system design of micro electro-mechanical system，system design of MEMS // system design of micro electro-mechanical system，system design of MEMS /
在结构化微机电系统集成设计方法中，包含3个设计层级，即系统级、器件级和工艺级的集成设计过程。
微机电边界元分析/ MEMS boundary element analysis /MEMS boundary element analysis
微机电系统分层级设计在有限元分析之后发展起来的一种精确高效的工程分析数值方法。微机电轮廓演化/ MEMS contour evolution method /MEMS contour evolution method
微机电系统分层级设计物体的形状、线条在物理或化学的条件下，由于内力或外力的作用，而随时间发生的变化称轮廓演化。蒙特卡洛方法/ monte carlo method /monte carlo method
微机电系统分层级设计以概率统计理论为指导，由数学和计算技术交叉结合形成的一类数值计算方法。又称统计模拟方法、随机抽样技术。微机电在线测试/ MEMS in-situ test /MEMS in-situ test
微机电系统分层级设计测试结构或样品的制备与标准的微机电系统（MEMS）器件制造工艺完全相同的测试方法。微机电宏模型/ macro model /macro model
微机电系统分层级设计采用宏建模方法得到的可用于系统级仿真分析的自定义模型。微机电工艺规则检查/ MEMS process rule checking /MEMS process rule checking
微机电系统分层级设计检查工艺集成顺序的冲突并给出自动化可行性的估计报告。微机电设计规则检查/ design rule checking /design rule checking
微机电系统分层级设计验证某个集成电路芯片的物理版图是否满足一系列推荐的参数要求。微机电物理仿真/ micro electro-mechanical system physical simulation /micro electro-mechanical system physical simulation
微机电系统分层级设计在系统的物理模型上进行试验的技术。微机电几何仿真/ geometric simulation /geometric simulation
微机电系统分层级设计运用几何学中的概念描述或模拟客观事物形态的技术。微机电版图库/ layout library /layout library
微机电系统分层级设计不同工艺线制定的版图设计规则而形成版图的标准单元模块。
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