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机械工程基础

〔机械制造工艺与装备〕

机械工程史与人物

机械工程基础

〔制造系统〕

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微机电版图设计/ MEMS layout design /MEMS layout design
﹝微纳设计与仿真﹞
将微机电系统（MEMS）系统级或器件级设计结果通过版图设计工具进行图形布局布线并最终产生供制造用的版图文件或版图数据的设计过程。
微机电系统多域耦合分析/ multiple-domain coupling analysis for MEMS /multiple-domain coupling analysis for MEMS
﹝微纳设计与仿真﹞
针对微机电系统开展的多个物理场之间交互作用的数值计算分析过程。又称多物理场耦合分析。

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