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干涉显微术
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interferometric microscopy
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interferometric microscopy
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利用单色光或白光照明的用于微结构和光滑表面的表面三维形貌测量的显微术。
白光扫描干涉显微术
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white-light scanning interferometric microscopy
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white-light scanning interferometric microscopy
干涉显微术
采用相移干涉显微术进行表面测量的显微术。又称低相干干涉术。
相移干涉显微术
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phase-shifting interferometric microscopy
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phase-shifting interferometric microscopy
干涉显微术
利用基于位相的方法进行表面高度测量时，从图像信息中得到数据的干涉显微术。
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