光学零件面形偏差测量/ measurement of optical elements surface deviation // measurement of optical elements surface deviation /
用主流的光学元件检测设备，普遍用PV值、RMS值等参数来评价待测元件的面型偏差的过程。
菲索干涉仪测量法/ fischer interferometer measurement method /fischer interferometer measurement method
光学零件面形偏差测量采用等厚干涉原理，检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器的测量方法。泰曼格林干涉仪测量法/ Twyman-Green interferometer measurement method /Twyman-Green interferometer measurement method
光学零件面形偏差测量通过测量光波波面经光学零件后的变形来确定零件质量的方法。以迈克耳孙干涉仪为原型的一种常用的干涉仪。
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