分支
微纳米机电系统/ micro- and nanoelectromechanical system; MEMS/NEMS // micro- and nanoelectromechanical system; MEMS/NEMS /
在微米/纳米尺度内设计和制造、集成多种元件, 构建能显示微米/纳米级结构新效应的器件和系统。
