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气体放电光源/ gas discharge lamp /gas discharge lamp
光源
由高压击穿工作气体产生等离子体，等离子体在复合成原子的过程中产生光子辐射形成的光源。
等离子体箍缩光源/ plasma pinch light source /plasma pinch light source
光源
由等离子体箍缩气体放电形成的一种大电流、脉冲、气体放电光源。
微波激励光源/ microwave excitation light source /microwave excitation light source
光源
利用微波辐射产生的快速交变电场，在电场极性变化时产生很大的加速度，使得带电粒子在电场中加速运动，产生的紫外-极紫外辐射的光源。
激光等离子体光源/ laser-produced plasma light source /laser-produced plasma light source
光源
高亮度、宽谱段的紫外-极紫外光源。由高功率密度的脉冲激光照射靶材，产生高温等离子体，高温等离子体激发工作原子或离子形成高激发态，高激发态粒子再向低能级跃迁过程中产生紫外-极紫外辐射。

气体放电光源/ gas discharge lamp /gas discharge lamp