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首页 . 工学 . 光学工程

光学设计/ optical design /optical design
光学设计
根据一定光学目的要求，预先制定的光学元件组合方案。紫外-极紫外波段光学设计与通常的可见和红外波段有很多不同，在紫外（UV）和远紫外波段（FUV）既可以采用透射式也可以采用反射式。
反射光学系统/ reflective optical system /reflective optical system
光学设计
按照某种方式排列使光线按一定目的要求反射的一系列光学元件组合。
多层膜元件/ multilayer film element /multilayer film element
光学元件
多层膜光学元件是在超光滑表面上交替镀制折射率不同的材料，构成的在特定的波段具有较高的反射率的光学元件。
气体放电光源/ gas discharge lamp /gas discharge lamp
光源
由高压击穿工作气体产生等离子体，等离子体在复合成原子的过程中产生光子辐射形成的光源。
等离子体箍缩光源/ plasma pinch light source /plasma pinch light source
光源
由等离子体箍缩气体放电形成的一种大电流、脉冲、气体放电光源。
微波激励光源/ microwave excitation light source /microwave excitation light source
光源
利用微波辐射产生的快速交变电场，在电场极性变化时产生很大的加速度，使得带电粒子在电场中加速运动，产生的紫外-极紫外辐射的光源。
激光等离子体光源/ laser-produced plasma light source /laser-produced plasma light source
光源
高亮度、宽谱段的紫外-极紫外光源。由高功率密度的脉冲激光照射靶材，产生高温等离子体，高温等离子体激发工作原子或离子形成高激发态，高激发态粒子再向低能级跃迁过程中产生紫外-极紫外辐射。
探测器/ detector /detector
探测器
将光子转换成光电子，对产生的光电子做处理，记录光电子的位置、能量和强度的器件。
电离室探测器/ ionization chamber detector /ionization chamber detector
总量探测器
一种利用稀薄气体在紫外-极紫外光照下产生光电效应，再收集光电子的个数，进而计算光强的一种探测器。
光电倍增管/ photomultiplier /photomultiplier
总量探测器
高灵敏度光电转换探测器。

光学设计/ optical design /optical design

反射光学系统/ reflective optical system /reflective optical system

多层膜元件/ multilayer film element /multilayer film element

气体放电光源/ gas discharge lamp /gas discharge lamp

等离子体箍缩光源/ plasma pinch light source /plasma pinch light source

微波激励光源/ microwave excitation light source /microwave excitation light source

激光等离子体光源/ laser-produced plasma light source /laser-produced plasma light source

探测器/ detector /detector

电离室探测器/ ionization chamber detector /ionization chamber detector

光电倍增管/ photomultiplier /photomultiplier