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表面微加工/ surface micromachining /surface micromachining
微纳机电系统
以硅片为基体，通过多层薄膜淀积和图形加工制备三维微机械结构的一种重要的微电子系统加工手段。
刻蚀/ etching /etching
微纳机电系统
通过溶液、反应离子或其他方式来剥离和去除材料的一类重要机械制造工艺。
键合/ bonding /bonding
微纳机电系统
通过化学和物理作用将硅片与硅片、硅片与玻璃片、金属与玻璃、金属与金属、塑性材料之间或其他材料之间紧密地结合起来的工艺方法。
自下而上制造/ bottom up manufacturing /bottom up manufacturing
微纳机电系统
从微观角度出发，通过控制原子、分子和其他纳米尺度对象，制造出所期望的结构、器件和系统的方法。与自顶向下制造相对。
电动执行器/ electric actuators /electric actuators
微纳机电系统
一种微机电系统器件。
纳米压印/ nano-imprint lithography /nano-imprint lithography
微纳机电系统
在纳米尺度获得复制结构的一种成本低而速度快的方法。
微/纳机电系统/ micro/nano electromechanical system; M/NEMS /micro/nano electromechanical system; M/NEMS
微纳机电系统
利用微/纳制造技术加工出的各种微/纳结构和器件的系统。
自顶向下制造/ top down manufacturing /top down manufacturing
微纳机电系统
从宏观对象出发，对宏观材料或原料进行加工，完成微纳米尺度结构特征的制造。与自下而上制造相对。又称自上而下制造、自上而下方法等。
纳米操控/ nano manipulation /nano manipulation
微纳机电系统
通过微执行器对纳米尺度的对象进行接触/非接触操作和控制的技术。
电化学微制造/ electrochemical micro fabrication /electrochemical micro fabrication
微纳机电系统
利用在阴极、阳极表面发生得失电子的电化学基本原理，在微纳尺度上对材料进行阳极去除或阴极沉积的加工制造技术总称。

表面微加工/ surface micromachining /surface micromachining

刻蚀/ etching /etching

键合/ bonding /bonding

自下而上制造/ bottom up manufacturing /bottom up manufacturing

电动执行器/ electric actuators /electric actuators

纳米压印/ nano-imprint lithography /nano-imprint lithography

微/纳机电系统/ micro/nano electromechanical system; M/NEMS /micro/nano electromechanical system; M/NEMS

自顶向下制造/ top down manufacturing /top down manufacturing

纳米操控/ nano manipulation /nano manipulation

电化学微制造/ electrochemical micro fabrication /electrochemical micro fabrication